第1472章光刻机二
“致远,从薛工那里我知道你对光刻机非常感兴趣,巧的是在一九八五年,机电部四十五所就研制出了一台分布光刻机样机,而当时我在部里就负责这台光刻机的检测工作,对这方面的情况还是比较了解的……”
听着吴部长的话,林致远的眼睛瞬间瞪大了,真是踏破铁鞋无觅处,得来全不费工夫,原来眼前的吴部长就是光刻机方面的行家。
“吴部长,原来您就是光刻机专家呀!”
“不,不!”吴部长连连摆手,“我只是负责检测工作,谈不上专家,不过四十五所的韩所长倒是跟我很熟,他就是分布式光刻机当时的研制者之一,他才能称得上是行家。”
“韩所长?他现在人在哪里?吴部长,我想去拜访一下。”林致远确实有些激动。
“呵呵,致远我看出来了,你确实是对光刻机比较感兴趣,你放心,人我已经帮你联系到了,老韩现在已经退休了,不过人就住在燕京,这样吧,我打个电话派人去接他,你们可以好好聊聊。”
“那怎么行,我必须得登门拜访。”林致远很坚持,吴部长也不知道林致远为什么对光刻机这么执着,不过只要能把他人留在燕京就好,吴部长当即派了一辆车,让自己的秘书带着林致远去韩所长家里。
韩所长的家住在海淀区学清路附近,是一片建于上世纪七十年代的老楼。
吴部长的秘书姓黄,倒是比较熟悉这一片小区的历史,边走边给林致远介绍,“林助理,这里当初是老机电部的家属区,自从知道林助理对光刻机比较有兴趣之后,我陪部长来这里拜访过韩所长,韩所长是津门人,四十五所原来就是津门电子管厂,六十年代国家大搞三线建设,四十五所便搬到了甘省,三年前,四十五所在燕郊设立了一个分所。一九八五年,四十五所研制出了当时国内第一台分布式光刻机,韩所长及其研究团队立了功,这套住房就是当时奖励给他的……”
“黄主任,韩所长今年多大年纪?”
“过完年刚过七十,林助理,自从韩所长和部长见过面之后,听说您对光刻机很感兴趣,部里想要召开一个光刻机领域的研讨会,韩所长很激动,刚刚我给他打了电话,说是您要登门拜访,老所长很高兴,说是一直想见你,今天总算有机会了。”
“其实我更想见一见韩所长,他们那个年代的老科学让人敬佩呀,在条件那么艰苦的情况下,还在坚持科研工作……”林致远突然想起了什么,“对了,黄主任,你看看路边有没有超市什么的,我去买点礼品,第一次上门总不能空手吧!”
黄主任回头一笑,“放心吧,林助理,礼物都帮您准备好了,老所长不抽烟不喝酒,我就准备了点儿高档茶叶和新鲜水果,另外还有一些老年人需要的保健品,要是林助理觉得不够的话,咱们还可以再买一些。”
这就是一个优秀秘书应该做的事,林致远很满意。
两人提着礼品上了楼,韩所长的家住在三楼,很快,黄秘书就敲响了房门,几乎是敲门声响起的同时门就开了。一个头发花白的老者站在门口,迫不及待的问道:“小黄,你来了,林助理呢?”
韩所长说的一口地道的津门话。
“老所长,林助理就在我身后,您看!”黄秘书向身后一指,林致远恭恭敬敬的鞠了一个躬,“老所长您好,晚辈林致远上门打扰了。”
韩所长看到林致远居然这么年轻,有些惊讶,但还是非常热情的把他们两个让到家里。
韩所长的老伴儿一看也是位知识分子,很有礼貌的泡了茶,端上水果之后就把空间留给林致远和韩所长。
韩所长很急迫,林致远刚刚坐下,他便问道:“林助理,我听部长说你对光刻机很感兴趣。”
“是的,老所长,情况大概你也了解了,去年的时候,我在帮信息产业部做企业整合改制过程中,帮着他们研发了一款音乐便携式产品,目前在国外很受欢迎,在研发过程中我发现一个很严重的问题,就是大部分的电子元器件我们国内都无法生产,尤其是芯片和存储器……”林致远娓娓道来,这样铺垫才不会显得他对光刻机的狂热追求不那么突兀。
“芯片……”韩所长叹了口气,“八十年代中后期就很少有人提及这个领域了,林助理,咱们国家其实在芯片和光刻机领域取得过不错的成就。1965年,咱们国家就研制出65型接触式光刻机,之后的研究一直没有中断过,1977年,我们研究出了第一台接触式光刻机GK-3型半自动光刻机,1980年,青华大学研制第四代分步式投影光刻机获得成功,光刻精度达到3微米,接近国际主流水平。1981年,神州科学院半导体所研制成功JK-1型半自动接近式光刻机。1982年,科学院109厂研制出了KHA-75-1光刻机,这些光刻机在当时的水平均不低,最保守估计跟当时最先进的canon相比最多也就不到4年差距。1985年,我们所研制出了分步光刻机样机,这也是咱们国家第一台分步投影式光刻机,当时与国外的差距不超过7年。”
韩所长的声音变得越来越低沉,“只可惜进入九十年代后,我国光刻机光源长时间被卡在193纳米无法进步,这个技术非常关键……而且在八十年代,我国和花旗国的关系得到改善,很多过去对我们限制的高科技产品,现在都可以卖给我们了,国外的光刻机产品,性价比远高于自我研发,我国光刻技术的研发和产业化实质上放弃了自主攻关。”韩所长说起这些,唏嘘不已。
“韩所长,那您认为咱们现在重启光刻机项目还来得及吗?最大困难在哪里?”林致远听老所长如数家珍说着这些,就知道自己这趟没白来。
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